裂区设计在半导体行业中的应用与意义 现在,越来越多的人意识到实验设计DOE的重要性。但是,有些一知半解的人往往认为实验设计无非就是筛选设计(Screen Design),完全析因设计(Full Factorial Design)和响应面设计(Response Surface Design),所有的实验计划都是根据正交表就能直接获取。其实实验设计的种类很多,分别适合于不同的应用条件,不存在一种“放之四海而皆准”的实验设计。裂区设计(Split Design)就是一种高级实验设计的方法,至少在以下三种情况下,常规的实验设计方法并不适合,而裂区设计却能很好地解决问题:
1.由于工艺难度、环境条件和成本等原因,很难调整某个或某几个实验因子的水平,或者是所有实验因子无法同时任意地改变水平; 2.观测对象必须以批次为单位(而无法以单个为单位)在相同的因子水平组合下进行加工处理; 3.观测对象不必以批次为单位,但仍然连续(一个接着一个)地在相同的因子水平组合下(没有重新设置)进行加工处理。
当然,高级的实验设计方法需要与专业工具的配合才能体现其真正功效。裂区设计就是在JMP的操作环境下完成的,JMP是半导体、电子制造、化工、医药等高科技行业中享有盛誉的高端统计分析软件,半导体行业的领导企业,如Intel,高通公司,德州仪器等都是JMP的用户,全球药企前50强中绝大部分也在使用JMP。如无特别说明本文以下所有实验的设计计划和数据分析也是基于JMP软件实现的。 |