半导体DOE实验设计

xzlw121 · 发表于 2020-7-23 22:09:11

最近在学习JMP软件下的DOE实验设计，本人是半导体的工艺工程师，想请教一下有没有关于半导体工艺开发完整的DOE实验设计例子可以参考？

目前开发的思路是：单变量实验>根据单变量实验结果，结合经验及公司内部规格限定，减少影响因子的数量>创建筛选设计，进一步筛选出关键因子>结合单变量实验及经验进行工艺微调

请问以上思路是否可行？谢谢指点！

renzhewudia67 · 发表于 2020-7-26 09:15:15

最后的一步在筛选出重要因子，可以再做一个曲面优化设计实验

xzlw121 · 发表于 2020-7-29 21:39:17

renzhewudia67 发表于 2020-7-26 09:15
最后的一步在筛选出重要因子，可以再做一个曲面优化设计实验

谢谢！还在学习曲面优化设计中

renzhewudia67 · 发表于 2020-8-6 21:06:03

xzlw121 发表于 2020-7-29 21:39
谢谢！还在学习曲面优化设计中

哈哈，多多交流，我自己也是一名新人，感觉做的东西很类似呀。

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