半导体外延工艺的良率提升

admin · 发表于 2013-8-14 14:38:56

半导体外延工艺的良率提升

JMP中国区顾问团队

在半导体产业中，良率分析一直是个热门话题。几十亿的资金投资在晶圆制造的设备上，迅速的投资收益对半导体厂商来说是非常关键的。加速良率学习并提高良率是一项重要的竞争优势。若想要维持一定的生产力，至少不能增加浪费在寻找制造问题和改正制造问题的时间。将良率提高 10%，就可以替企业一年省下数亿的资金。以试验设计DOE为代表的统计分析技术是实现良率提升的重要手段，在Intel、National Semiconductor等技术领先型企业中得到了广泛的应用。

例如，某全球知名的半导体公司上海厂在某产品的外延沉积的工艺处理中，OOC Rate（失控率）极高，平均水平仅为30%左右，导致生产周期拖长，严重影响了该厂的生产能力，对月产3000片的要求造成极大威胁；而且增加了额外的生产成本，严重影响公司的既定利润目标的实现。因此，该厂领导下决心建立专案小组来解决多年来一直没有解决的顽症，改进这方面的工作。

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yirannorm · 发表于 2023-9-12 08:39:31

非常感谢你的分享

yirannorm · 发表于 2023-9-6 07:17:44

非常感谢你的分享

yirannorm · 发表于 2023-8-28 07:20:06

非常感谢你的分享

stfwo · 发表于 2023-8-21 16:06:26

非常好的学习资料，感谢

yirannorm · 发表于 2023-4-2 08:07:25

非常感谢你的分享

Eileenlml · 发表于 2023-3-29 14:31:09

学无止境，谢谢楼主

yirannorm · 发表于 2023-3-7 07:35:09

非常感谢你的分享

zhangdy · 发表于 2023-2-28 14:49:21

半导体外延工艺的良率提升学习~~

明野枫 · 发表于 2022-11-28 12:48:34

案例学习，希望可以有帮助

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半导体外延工艺的良率提升

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