半导体外延工艺的良率提升

admin · 发表于 2013-8-14 14:38:56

半导体外延工艺的良率提升

JMP中国区顾问团队

在半导体产业中，良率分析一直是个热门话题。几十亿的资金投资在晶圆制造的设备上，迅速的投资收益对半导体厂商来说是非常关键的。加速良率学习并提高良率是一项重要的竞争优势。若想要维持一定的生产力，至少不能增加浪费在寻找制造问题和改正制造问题的时间。将良率提高 10%，就可以替企业一年省下数亿的资金。以试验设计DOE为代表的统计分析技术是实现良率提升的重要手段，在Intel、National Semiconductor等技术领先型企业中得到了广泛的应用。

例如，某全球知名的半导体公司上海厂在某产品的外延沉积的工艺处理中，OOC Rate（失控率）极高，平均水平仅为30%左右，导致生产周期拖长，严重影响了该厂的生产能力，对月产3000片的要求造成极大威胁；而且增加了额外的生产成本，严重影响公司的既定利润目标的实现。因此，该厂领导下决心建立专案小组来解决多年来一直没有解决的顽症，改进这方面的工作。

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kkytrhplxxck · 发表于 2014-2-27 22:45:40

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zxjxyq · 发表于 2014-9-3 17:25:41

学习一下呢

fightace · 发表于 2014-9-5 09:59:27

JMP 半导体行业的领导者

heekeer · 发表于 2014-9-5 22:11:08

围观了解详情

wtmswxl · 发表于 2014-9-8 09:07:43

谢谢楼主分享。。。

lulin96 · 发表于 2014-9-16 20:36:11

学习了谢谢

newcop · 发表于 2014-9-17 15:10:24

感謝分享~是個很有幫助的例子!

朱其壮 · 发表于 2014-11-8 15:51:31

看看，学习一下，感觉和半导体有关的资料好少

rocluo5566 · 发表于 2015-1-23 17:14:29

Thank so much

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