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标题: 裂区设计在半导体行业中的应用与意义 [打印本页]

作者: admin 时间: 2013-8-14 11:28
标题: 裂区设计在半导体行业中的应用与意义

裂区设计在半导体行业中的应用与意义

现在，越来越多的人意识到实验设计DOE的重要性。但是，有些一知半解的人往往认为实验设计无非就是筛选设计(Screen Design)，完全析因设计(Full Factorial Design)和响应面设计(Response Surface Design)，所有的实验计划都是根据正交表就能直接获取。其实实验设计的种类很多，分别适合于不同的应用条件，不存在一种“放之四海而皆准”的实验设计。裂区设计(Split Design)就是一种高级实验设计的方法，至少在以下三种情况下，常规的实验设计方法并不适合，而裂区设计却能很好地解决问题：

1．由于工艺难度、环境条件和成本等原因，很难调整某个或某几个实验因子的水平，或者是所有实验因子无法同时任意地改变水平；

2．观测对象必须以批次为单位（而无法以单个为单位）在相同的因子水平组合下进行加工处理；

3．观测对象不必以批次为单位，但仍然连续（一个接着一个）地在相同的因子水平组合下（没有重新设置）进行加工处理。

当然，高级的实验设计方法需要与专业工具的配合才能体现其真正功效。裂区设计就是在JMP的操作环境下完成的，JMP是半导体、电子制造、化工、医药等高科技行业中享有盛誉的高端统计分析软件，半导体行业的领导企业，如Intel，高通公司，德州仪器等都是JMP的用户，全球药企前50强中绝大部分也在使用JMP。如无特别说明本文以下所有实验的设计计划和数据分析也是基于JMP软件实现的。

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作者: niksong 时间: 2013-8-28 13:37
good. experience is the mother of wisdom.

作者: juna 时间: 2013-9-4 13:33
请问楼主，在用裂区试验设计时，在分析的时候，建模过程中因子的选取和普通的模型有什么不同，例如图5的结果我用普通的模型分析方法也能得到，当使用裂区时，分析方法还一样吗？

作者: Jerry96 时间: 2014-8-6 21:39
有实验数据分享吗？

作者: xubin_hit 时间: 2014-9-17 13:20
学习一下。。。。。。。

作者: newcop 时间: 2014-12-17 11:44
多謝分享裂區試驗的案例~

作者: oop690415 时间: 2015-1-25 22:53
支持，一直在学习！

作者: leon1126 时间: 2015-2-14 08:57
学习一下。。。。。。。。。

作者: oujh 时间: 2015-4-23 14:52
挺好的，裂区设计一般教科书上讲得少

作者: oop690415 时间: 2015-4-26 16:03

多謝分享裂區試驗的案例~

作者: hmconline 时间: 2015-4-27 17:42
thanks for your sharing

作者: dlw99 时间: 2015-9-1 10:43
离子注入也可以用在光伏电池的扩散工艺上吧

作者: ui123 时间: 2016-1-8 10:07
多謝分享裂區試驗的案例~

作者: 勤劳的毛毛鱼 时间: 2016-4-1 20:59
裂区实验好好学习下

作者: rre44s 时间: 2016-4-26 11:27
谢谢你的发言` 非常有意义

婴儿游泳设备

作者: ljwscut 时间: 2016-8-10 09:12
这个很有用，有些不太懂。

作者: binglelly 时间: 2016-10-11 20:23
我是来学习的啊！！！

作者: jennifer 时间: 2017-7-19 14:22
离子注入的工艺条件组合

作者: lxs772432452 时间: 2017-8-17 17:10
谢谢楼主分享！！！

作者: 朱其壮 时间: 2017-9-20 15:49
不知道为何都要回复才能看呢，不看了之后如何参与讨论！

作者: gzz18260213829 时间: 2018-2-22 11:48
学习，感谢！！！

作者: yhm 时间: 2018-8-13 20:21
希望多多分享这类文章

作者: Benjamin_ 时间: 2018-8-28 14:48
好奇裂区设计是怎么实现的。

作者: lishu004 时间: 2018-12-2 14:41
这个帖子好奇怪，可以隐藏一部分吗

作者: oppenheimer 时间: 2019-3-21 09:23
尽管不是 imp 也看一下啊

作者: johnsonzhan2016 时间: 2019-12-22 19:05

good

作者: Vincentlu 时间: 2020-8-24 10:10
谢谢分享，学习下

作者: kikichu168 时间: 2020-10-1 14:39
Thanks for sharing.

作者: LEO314 时间: 2021-9-13 11:25
学习一下列区设计

作者: ATOM327 时间: 2021-10-14 10:32
看看学习一下

作者: yirannorm 时间: 2022-3-29 07:32
很好的学习资料

作者: yirannorm 时间: 2022-5-13 07:10
很好的学习资料

作者: yirannorm 时间: 2022-9-14 07:05
非常好的学习资料

作者: stfwo 时间: 2023-8-21 16:01
谢谢楼主分享的资料

作者: yirannorm 时间: 2023-8-31 07:16
非常感谢你的分享

作者: yirannorm 时间: 2023-9-9 08:08
非常感谢你的分享

作者: jmper2020 时间: 2023-9-9 21:56
多謝分享裂區試驗的案例~

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